半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。
（文章来源：每日经济新闻）
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文章标题：半导体设备板块震荡走高芯源微涨超10%
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